SC-1濃度計(jì)

產(chǎn)品型號：CS-131
更新時間：2024-03-17
產(chǎn)品介紹：概要CS-131是半導(dǎo)體制造中清洗工藝的SC-1溶液用于高精度藥液濃度的監(jiān)測儀，實(shí)現(xiàn)了過去所沒有的高速響應(yīng)性和小巧化?？梢猿r間的監(jiān)測微粒以及有機(jī)物的清除作業(yè)中所使用的SC-1溶液(NH3/H2O2/H2O)各成分濃度。通過使用監(jiān)測輸出的回收控制，可以確保SC-1溶液的濃度在允許范圍內(nèi)，同時，還可以避免不必要的更換藥液工作。并且，冷卻器一體型也進(jìn)入了產(chǎn)品陣容內(nèi)，可適用較大范圍的樣品溫度。
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產(chǎn)品介紹

特點(diǎn)

監(jiān)測周期大約為2秒，支持300mm工藝的濃度管理
實(shí)現(xiàn)了以大約2秒為監(jiān)測周期(※)的高速響應(yīng)。支持向批次式和單槽式清洗裝置定時反饋濃度信息。(※不包含藥液的置換時間、冷卻時間)

小巧化設(shè)計(jì)有利于節(jié)省清洗裝置的空間
由于底面面積只有原來的2/3(※)左右，這種小巧化設(shè)計(jì)有利于清洗裝置節(jié)省空間?？梢院苋菀椎亟M裝到清洗裝置中。
(※和本公司產(chǎn)品CS-220系列進(jìn)行比較)

通過減少清洗工藝中的批次不良，提高產(chǎn)量
通過濃度計(jì)的信號輸出，進(jìn)行SC-1溶液的補(bǔ)給控制，從而實(shí)現(xiàn)高再現(xiàn)性的清洗。減少清洗工藝中的批次不良，從而推進(jìn)產(chǎn)量的全面提高。

全自動監(jiān)測與簡易控制
用戶只需引入SC-1溶液即可。監(jiān)測是全自動方式，因此開始監(jiān)測后不需要進(jìn)行任何控制。另外，由于參照光譜測量時使用的是空氣，所以不需要用水。

通過采取全面的氣泡對策，可監(jiān)測高溫樣品
在脫泡槽中分離氣泡，在監(jiān)測過程中進(jìn)一步利用電磁閥把氣泡混入監(jiān)測單元內(nèi)的發(fā)生次數(shù)抑制在zui低限度。并且，如果是冷卻器一體型產(chǎn)品，則可以直接倒入高溫度樣品至濃度計(jì)。溫度補(bǔ)償將自動進(jìn)行。

采用DC24V，實(shí)現(xiàn)高安全性
電源采用DC24V低壓電，提高了安全性以避免觸電事故的發(fā)生。并且，由于內(nèi)置漏水傳感器，在發(fā)生漏水時可以切斷SC-1溶液的供應(yīng)等，采取緊急措施。

SC-1濃度計(jì)

CS-131

技術(shù)規(guī)格

型號和規(guī)格	CS-131：無冷卻器 CS-131C：冷卻器一體型
監(jiān)測對象	SC-1(氨/過氧化氫水溶液)
測量原理	吸收光譜測定法
濃度計(jì)算的原理	溫度補(bǔ)償型多變量解析法
監(jiān)測范圍	氨：0.00〜1.00% / 0.00〜3.00% / 0.00〜5.00% 過氧化氫：0.00〜5.00% / 0.00〜7.00% / 0.00〜10.00% 水：94.0〜 100% / 90.0〜 100% / 85.0〜100%
再現(xiàn)性	氨： ±0.15% / ±0.2% / ±0.25% 過氧化氫： ±0.3% / ±0.3% / ±0.3% 水　　　?。?±1.5% / ±1.5% / ±1.5%
藥液條件溫度	CS-131：20〜30℃ CS-131C：20〜80℃
藥液條件流量	CS-131：20〜60mL/min CS-131C：20〜40mL/min
藥液條件壓力	0.10〜0.20MPa
監(jiān)測周期	zui小約2秒(不包含藥液的置換時間・冷卻時間)
設(shè)置溫度	20〜25℃
操作面板	1)溫度檢測值的顯示：氨、過氧化氫、水 2)報警信號的顯示(氨、過氧化氫)：濃度下下限、濃度下限、濃度上限、濃度上上限 3)報警信號值的設(shè)定(氨、過氧化氫)：濃度下下限、濃度下限，濃度上限、濃度上上限
串行輸入	RS-232C 1)濃度數(shù)據(jù)：氨、過氧化氫、水 2)報警信號值的設(shè)定(氨、過氧化氫)：濃度下下限、濃度下限、濃度上限、濃度上上限
并行輸入	DC12〜30V(光電耦合器絕緣) 并行溫度報警(有效/無效)
并行輸出	開路集電極輸出為ON 時的zui大電流：5mA、為OFF時的zui大電壓：30V 1)報警信號輸出(氨、過氧化氫)：濃度下下限、濃度下限、濃度上限、濃度上上限 2)裝置異常 3)漏液
模擬輸出	4〜20mA(2輸出：NH₃濃度、H₂O₂濃度的2輸出) ＊與量程規(guī)格技術(shù)規(guī)格無關(guān)，可以使4〜20mA輸出對應(yīng)于0〜10%濃度。(請?jiān)谟嗀洉r)
電源	DC24V±10%， 2A
外形尺寸	CS-131：205(W)×329(D)×269(H)mm CS-131C：291(W)×329(D)×269(H)mm
質(zhì)量	CS-131：約11kg CS-131C：約12kg
連接配管尺寸	導(dǎo)入用、排出用外徑均為3mm(內(nèi)徑均為2mm)
配管接頭	Nippon Pillar Super型